- Profil zanieczyszczeń jako odcisk palca procesu
Zanieczyszczenia wynikają z materiałów, mechanizmu reakcji lub biologii, degradacji i operacji downstream; ich wzorzec opowiada historię procesu.
Jakość i dojrzałość procesu
Dowody jakości, pomiary, specyfikacja oraz droga od działającego eksperymentu do zatwierdzonego procesu.
